基于DSP增益可控的光刻機測高電路的設計研究
所屬分類:技術論文
上傳者:aetmagazine
文檔大小:491 K
標簽: 激光三角法 線陣CCD 數字信號處理器
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文檔介紹:介紹了激光三角法高度測量技術和基于數字信號處理器DSP與線陣CCD的激光高度測量系統。采用比例恒流源和鏡像恒流源組合,設計了輸出功率穩定可調的激光二極管驅動電路和線陣CCD的驅動電路,借助DSP定時器周期調節靈活的優點,方便地調節光積分時間來提高信號質量。針對光刻工藝中不同的測量對象表面的光學特征,自動進行激光二極管增益控制和光積分時間調節,提高測量的適應性和測量效率。
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